Budowa i zastosowanie układów MEMS

Kategoria: Blog

czujnik

Układy MEMS to miniaturowe urządzenia łączące w sobie elementy mechaniczne i elektroniczne. Sam skrót MEMS możemy rozwinąć jako Micro-Electro-Mechanical Systems. Ich mały rozmiar niesie ze sobą wiele zalet. Poza oczywistymi korzyściami, jak niski koszt produkcji spowodowany małą ilością materiału potrzebnego do wykonania układów, czy możliwości łączenia ich w zajmujące mało miejsca mikroukłady w wielu przypadkach MEMS mają przewagę nad dużo większymi urządzeniami. MEMS wymagają mniejszej ilości energii do pracy, a także wytrzymują wibracje i zmiany temperatury, które miałyby duży wpływ na układy w skali makro.

Większość układów MEMS powstaje w oparciu o podłoża krzemowe lub szklane. Łączone w całe mikrosystemy znajdują zastosowanie m.in.: jako głowice drukarek igłowych, przełączniki optyczne czy w zegarach atomowych. Najczęściej jednak wykorzystywane są jako różnego rodzaju czujniki. Wykorzystuje się je m.in.: jako czujniki drgań, ciśnienia, przyśpieszenia etc. W technologii tej da się wykonać również mikroskopijne tryby i silniki. Obecnie trwają także prace badawcze nad stworzeniem efektywnych mikroskopijnych generatorów prądu. Możliwe jest również tworzenie z układów MEMS powierzchni lustrzanych, co wykorzystuje się przy produkcji projektorów.